壓阻式壓力傳感器的制造工藝概述

典型的壓力傳感器可以分為壓阻、電容、壓電、共振、伺服控制和CMQS集成等幾種類型。壓阻式壓力傳感器又稱擴散硅壓力傳感器，其制造工藝簡單，線性好，價格一般也比較低，但對溫度比較敏感，有可能會出現(xiàn)溫度漂移，而且靈敏度較低，典型產(chǎn)品的技術(shù)參數(shù)如下。

一是不同的工作原理。

采用單晶硅的壓阻效應，構(gòu)成壓阻式壓力傳感器。

大多數(shù)壓電式壓力傳感器都采用正壓電效應來制作。

二是側(cè)重點不同。

壓電式壓力傳感器當晶體受到一個固定方向的外力的作用時，在其內(nèi)部會產(chǎn)生電偏振現(xiàn)象，同時在兩個表面上會同時產(chǎn)生符號相反的電荷；當外力被移走之后，晶體又回到不帶電的狀態(tài)；當外力的方向發(fā)生變化時，電荷的極性也會發(fā)生變化；晶體的電荷量與外力的大小成正比。

壓阻式壓力傳感器以單晶硅片為彈性元件，采用集成電路工藝，在單晶硅膜片上沿一定方向擴散一組等值電阻，并將電阻接合到橋路上，將單晶硅片置于傳感器腔中。單晶硅在壓力變化時會產(chǎn)生應變，使得應變電阻直接擴散到上面，產(chǎn)生正比于被測壓力的變化，然后通過橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。

三是結(jié)構(gòu)不同。

壓電式壓力傳感器是基于壓電效應的傳感器。其類型和型號多種多樣，按其彈性敏感元件的形式和受力機構(gòu)可分為膜片式和活塞式兩種。隔膜式主要由本體、隔膜和壓電元件組成。

壓阻傳感器采用集成工藝在單晶硅薄膜上集成電阻條，制作硅壓阻芯片，并將該芯片的周邊固定封裝在薄膜內(nèi)，引出電極引線。

壓力表是用來測量工質(zhì)壓力的元件，其輸出一般為連續(xù)模擬信號。壓力開關(guān)是根據(jù)壓力控制電路而關(guān)閉的元件，其輸出通常為開關(guān)值。

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